[發(fā)布日期：2021-03-05 13:29:28] 點擊：
有人又將其稱為圓片級-芯片尺寸封裝(WLP-CSP)，以晶圓圓片為加工對象，在晶圓上封裝芯片。晶圓封裝中*關(guān)鍵的工藝為晶圓鍵合，既是通過化學(xué)或物理的方法將兩片晶圓結(jié)合在一起，以達到密封效果。如下圖為一種典型的晶圓級封裝結(jié)構(gòu)示意圖。晶圓上的器件通過晶圓鍵合一次完成封裝，故而可以有效減小封裝過程中對器件造成的損壞。
1 晶圓封裝的優(yōu)點
1)封裝加工效率高，它以圓片形式的批量生產(chǎn)工藝進行制造，一次完成整個晶圓芯片的封裝大大提高了封裝效率。
2)具有倒裝芯片封裝的優(yōu)點，即輕，薄，短，小。封裝尺寸接近芯片尺寸，同時也沒有管殼的高度限制。
3)封裝芯片在IC設(shè)計階段和封裝設(shè)計可以統(tǒng)一考慮，同時進行，這將提高設(shè)計效率，減少設(shè)計費用。
4)設(shè)備可以充分利用圓片的制造設(shè)備，無需再進行后端芯片封裝產(chǎn)線建設(shè)。
5) 從芯片制造，封裝到產(chǎn)生交付用戶的整個過程中，中間環(huán)節(jié)大大減少，周期縮短很多，這必將帶來成本的降低。
6) 封裝成本與每個圓片商的芯片數(shù)量密切相關(guān)，圓片商芯片數(shù)量越多，封裝成本越低，是真正意義上的批量芯片封裝技術(shù)。
7) 封裝尺寸小，引線短，帶來更好的電學(xué)性能。
2 晶圓封裝的缺點
1)封裝時同時對晶圓商所有芯片進行封裝，不論時好的芯片或壞的芯片都將被封裝，因此在晶圓制作的良率不夠高時，就會帶來多余的封裝成本和測試的時間浪費。
2)在切割成單芯片時，封裝結(jié)構(gòu)或者材料影響劃片效率和劃片成品率
2 晶圓封裝的工藝
目前晶圓鍵合工藝技術(shù)可分為兩大類：一類是鍵合雙方不需要介質(zhì)層，直接鍵合，例如陽極鍵合;另一類需要介質(zhì)層，例如金屬鍵合。
3 晶圓封裝關(guān)鍵設(shè)備
晶圓封裝需要專用的ELT晶圓級真空壓膜機
