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晶圓級(jí)芯片封裝面臨的挑戰(zhàn)

[發(fā)布日期:2020-12-22 10:33:07] 點(diǎn)擊:


 

  晶圓級(jí)芯片尺寸封裝 (WLCSP) 因其成本性能比和無(wú)襯底封裝而具吸引力,但卻受到芯片尺寸的限制。另一種替代方案,扇出型晶圓級(jí)封裝 (FOWLP) 技術(shù)正在研發(fā)和應(yīng)用,因?yàn)樗试S通過(guò)“扇出”與外部襯墊互連來(lái)增加 I/O 密度。最終使其具有更小的外形尺寸和更低的功耗。異構(gòu)集成的半導(dǎo)體封裝技術(shù),如系統(tǒng)級(jí)封裝 (SIP) 和堆疊封裝 (PoP) 基礎(chǔ)結(jié)構(gòu),由于日益復(fù)雜的集成而面臨著重大挑戰(zhàn)。

  晶圓級(jí)封裝挑戰(zhàn)

  對(duì)于許多此類(lèi)技術(shù)來(lái)說(shuō),薄化器件的襯底處理是制造流程中的一個(gè)主要挑戰(zhàn)。硅晶片薄化至 <50 微米 (μm),或使用一個(gè) RDL-first流程創(chuàng)建的重分布層 (RDL) 需非常小心且制造成本很昂貴。處理過(guò)程要求使用通過(guò)臨時(shí)鍵合和解鍵合 (TBDB) 技術(shù)處理支撐襯底,以方便構(gòu)建復(fù)雜的封裝基礎(chǔ)機(jī)構(gòu)。

  使用熱塑性聚合物制造的臨時(shí)鍵合材料通常用于 TB/DB 工藝。當(dāng)與載體襯底一起使用時(shí),它們能夠提供熱機(jī)械穩(wěn)定性,并使薄型器件襯底更易于處理。然而,在更高的溫度下,這些材料表現(xiàn)得更像液體,隨著熔體粘度的降低,機(jī)械穩(wěn)定性也逐漸消失,材料軟化,從而降低了鍵合層的穩(wěn)定性。器件晶圓可能發(fā)生變形和分層,導(dǎo)致下游工藝出現(xiàn)問(wèn)題。

  現(xiàn)在我們已經(jīng)對(duì)先進(jìn)封裝目前所面臨的一些挑戰(zhàn)進(jìn)行了高層次的研究,接下來(lái),我們將更深入地探索其中的一些技術(shù)。第 II 部分將研究chip-first和chip-last工藝程流之間的區(qū)別,以及為什么后者更受關(guān)注和歡迎。

封裝除氣泡

芯片封裝氣泡問(wèn)題

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