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半導(dǎo)體-底部填膠氣泡去除案例

[發(fā)布日期:2020-01-03 11:16:23] 點(diǎn)擊:


 

半導(dǎo)體-底部填膠除氣泡案例

制程介紹:
使用覆晶方式將芯片透過(guò)bump或solder ball與wafer結(jié)合. 再以底部填膠作業(yè)利用毛細(xì)現(xiàn)象原理將間隙膠材填滿.

常見問題:
底部填膠后, 經(jīng)常會(huì)有氣泡, 這會(huì)造成產(chǎn)品信賴性問題, 內(nèi)部氣泡將導(dǎo)致后續(xù)製程在經(jīng)過(guò)迴焊爐solder 之間橋接, 導(dǎo)致元件功能失效

問題解決應(yīng)用:
當(dāng)做完底部填膠后, 于腔體內(nèi)對(duì)施以真空與壓力及加熱烘烤, 能有效達(dá)到除氣泡效果

底部填膠氣泡

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